- RC2
- Produkty
RC2
RC2 je unikátní komerční spektrometrický elipsometr, který je schopen měřit všech 16 prvků Muellerovy matice, čímž umožňuje charakterizovat i nejpokročilejší nanostruktury. Elipsometr kombinuje duální roztační kompenzátor, achromatický kompenzační design, pokročilý světelný zdroj a spektrometrické uspořádání do jednoho unikátního celku. Elipsometr měří simultanně na více než 1000 vlnových délkách od ultrafialové po blízkou infračervenou spektrální oblast. Celé měření přitom trvá zlomky sekund.
Možnosti měření:
- Standardní spektroskopická elipsometrie
- Zobecněná spektroskopická elipsometrie
- Všechny prvky Muellerovy matice
- Depolarozace
- Intenzitní reflektance a transmitance
Hlavní výhody elipsometru
- Pokrývá více než 1000 vlnových délek od UV po NIR
- Synchronizace obou kompenzátorů pro získání přesných dat bez čekání na průměrování dat přes optický element
- Světelný zdroj nové generace - počítačem řízená intenzita a automaticky optimalizovaný signál (nízká nebo vysoká reflektivita)
| Spektrální rozsah |
Model X: 210nm až 1000nm Model D: 190nm až 1000nm NIR rozšíření: 1000nm až 1690nm |
| Spektrální rozlišení/šířka pásu |
Model X,D 1 nm krok ve vlnové délce, 3 nm šířka pásu NIR 2,5 nm krok ve vlnové délce, 5nm šířka pásu |
| Akvizice dat |
Kompletní cyklus pro SE a MM 0,3s Nejlepší poměr signál/šum 2-10 s každý úhel |
| Divergence svazku | Méně než 0,4° |
| Průměr svazku | Standardně 3-4 mm s ostřením až méně než 200 µm |
RC2 v aplikacích
-
Instalace unikátního elipsometru na MFF
Úspěšně jsme dodali a nainstalovali unikátní elipsometr, který umožňuje měřit všechy prvky Muellerovy matice. Zařízení je umístěno na Matematicko-fyzikální fakultě Univerzity Karlovy a jedná se o teprvé druhý systém tohoto typu v ČR.
Detail
