Vláknové spektrometry
Firma Ocean Optics je předním výrobcem miniaturních vláknových spektrometrů. Od roku 1992, kdy byla u zrodu konceptu těchto systémů, vyvinula několik typů těchto spektrometrů
Je možnost vybrat si z několika předkonfigurovaných verzí nebo volbou jednotlivých komponent (vstupní štěrbina, mřížka, případně detektor a další) dosáhnout konfigurace přesně dle Vaší aplikace.
USB4000
miniaturní spektrometr pro základní obecná měření
| Spektrální rozsah: | max. 650 nm |
| Rozsah detektoru: | 200 – 1100 nm |
| Dynamický rozsah: | 1300:1 |
| Poměr signál/šum: | 250:1 |
| Rozlišení: | 0,3 ~ 10nm FWHM |
| Nelinearita: | 1% |
USB2000+
varianta spektrometru USB4000 s odlišným detektorem, 2MHz A/D převodníkem a programovatelným mikrokontrolerem pro aplikace s nutností velmi rychlého snímání spektra.
HR4000
spektrometr vhodný pro náročnější aplikace. Delší optická dráha umožňuje dosáhnut vyššího rozlišení v porovnání s USB4000.
| Spektrální rozsah: | max. 900 nm |
| Rozsah detektoru: | 200 – 1100 nm |
| Dynamický rozsah: | 1300:1 |
| Poměr signál/šum: | 250:1 |
| Rozlišení: | 0,02 ~ 8,4nm FWHM |
| Nelinearita: | 1% |
HR2000+
varianta spektrometru HR4000 s odlišným detektorem, 2MHz A/D převodníkem a programovatelným mikrokontrolerem pro aplikace s nutností velmi rychlého snímání spektra. Verze HR2000+ poskytuje umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení proti USB2000+.
Jaz
unikátní modulární systém tvořený moduly které je možné skládat dle potřeb Vaší aplikace. Dostupné moduly:
- spektrometr
- display s klávesnicí
- ethernetové připojení a slot na paměťové SD karty
- baterie a slot na paměťové SD karty
- světelný zdroj UV-VIS
- světelný zdroj VIS-NIR
- světelný zdroj-Led
Tyto moduly umožňují vytvořit stand alone systém bez nutnosti připojení PC nebo externího zdroje. Elektronika umožňuje také spojit několik spektrometrů a vytvořit tak vícekanálový systém s velmi vysokým rozlišením.
Systém je díky své mobilitě vhodný např. pro biologické a chemické aplikace neboť umožňuje jednoduchým způsobem provádět měření přím v terénu (např. sledování znečištění vody/prostředí) nebo díky možnosti vzdáleného přístupu přes ethernetové připojení pro sledování procesů v průmyslu, kdy např. rozmístění několika modulů podél výrobní linky umožní přesně kontrolovat výrobní postupy.
Parametry samotného spektrometru:
| Spektrální rozsah: | max. 650 nm |
| Rozsah detektoru: | 200 – 1100 nm |
| Dynamický rozsah: | 1300:1 |
| Poměr signál/šum: | 250:1 |
| Rozlišení: | 0,3 ~ 10nm FWHM |
| Nelinearita: | 1% |
QE65000
spektrometr pro aplikace s nízkou úrovní signálu. Spektrometr je osazen TE chlazeným detektorem, který poskytuje vysokou citlivost v UV oblasti (od 200nm) a vysokou kvantovou účinnost (až 92%). QE65000 je vhodný pro aplikace jako je např. fluorescence, Ramanovská spektrometrie a další.
| Spektrální rozsah: | max. 825 nm |
| Rozsah detektoru: | 200 – 1100 nm |
| Dynamický rozsah: | 25000:1 |
| Poměr signál/šum: | 1000:1 |
| Rozlišení: | 0,14 ~ 7,7nm FWHM |
| Nelinearita: | 1% |
| Detektor: | back-thinned 2D, CCD s aktivním chlazením |
| Kvantová účinnost: | až 92% |
| Kvantová účinnost na 300 nm: | 40% |
Maya
spektrometr s vysokou kvantovou činností, dynamickým rozsahem a vysokou citlivostí v UV. Tyto parametry z něj činí ideální nástroj pro měření v aplikacích s nízkou úrovní signálu a pro měření v UV oblasti. Obzvláště v UV oblasti rozšiřuje možnosti proti QE65000, neboť umožňuje měřit již od 165 nm.
| Spektrální rozsah: | max. 900 nm |
| Rozsah detektoru: | 165 – 1100 nm |
| Dynamický rozsah: | 10000:1 |
| Poměr signál/šum: | 450:1 |
| Rozlišení: | back-thinned 2D CCD |
| Nelinearita: | 1% |
| Detektor: | back-thinned 2D, CCD s aktivním chlazením |
| Kvantová účinnost: | až 92% |
| Kvantová účinnost na 300 nm: | 40% |
NIRQUEST
spektrometr pro měření v IR oblasti
| Spektrální rozsah: | max. 1600 nm |
| Rozsah detektoru: | 900 – 2500 nm |
| Dynamický rozsah: | 5000:1 |
| Detektor: | lineární InGaAs detektor s aktivním chlazením |
Spektrometrické systémy
R-3000
systém pro Ramanovskou spektrometrii
- integrovaný systém zahrnující excitační laser, spektrometr, optickou sondu a software
- Rozsah od 200 – 2700 cm-1 , rozlišení lepší než 10 cm-1
NeoFox
systém pro měření koncentrace kyslíku
- jednoduchý a kompaktní systém vhodný pro běžnou kontrolu přítomnosti kyslíku
- možnost volby kyslíkových senzorů dle aplikace – viz
NanoCalc
systém pro měření tloušťky tenkých vrstev na základě reflexe/transmise.
- možnost měření tloušťky vrstev v rozsahu 10 nm až 250 m dle konfigurace systému
- rozlišení až 0,1 nm
- vhodné pro in situ a online měření
- vhodné pro měření např. tloušťky oxidových vrstev, fotorezistů a další polovodičové vrstvy. Dle možnost měření anti reflexní vrstvy a vrstvy na substrátech jako je ocel, hliník, mosaz, měď, keramika a plasty
SpecEl
elipsometrický systém.
- rozsah vlnových délek 380 – 780 nm (standardně) nebo 450 – 900 nm (volitelně)
- optické rozlišení 4 nm FWHM
- Možnost měřit současně až 32 vrstev
- Tloušťka vrstvy 1 – 5000 nm pro jednu transparentní vrstvu
PlasCalc
systém pro monitorování a kontrolu plazmatu
- možnost sledování emisí plazmatu v rozsahu 200 – 1100nm
- výstup pro kontrolu procesů (možnost nastavení limitů)
- vhodné pro aplikace jako je měření depozice tenkých vrstev, plasmatické leptání (plasma etching) a další
Kontakty
Ing.Martin Klečka
Ing.Aleš Jandík