Vláknové spektrometry

Firma Ocean Optics je předním výrobcem miniaturních vláknových spektrometrů. Od roku 1992, kdy byla u zrodu konceptu těchto systémů, vyvinula několik typů těchto spektrometrů

Je možnost vybrat si z několika předkonfigurovaných verzí nebo volbou jednotlivých komponent (vstupní štěrbina, mřížka, případně detektor a další) dosáhnout konfigurace přesně dle Vaší aplikace.

USB4000

miniaturní spektrometr pro základní obecná měření

Spektrální rozsah: max. 650 nm
Rozsah detektoru: 200 – 1100 nm
Dynamický rozsah: 1300:1
Poměr signál/šum: 250:1
Rozlišení: 0,3 ~ 10nm FWHM
Nelinearita: 1%

USB2000+

varianta spektrometru USB4000 s odlišným detektorem, 2MHz A/D převodníkem a programovatelným mikrokontrolerem pro aplikace s nutností velmi rychlého snímání spektra.

HR4000

spektrometr vhodný pro náročnější aplikace. Delší optická dráha umožňuje dosáhnut vyššího rozlišení v porovnání s USB4000.

Spektrální rozsah: max. 900 nm
Rozsah detektoru: 200 – 1100 nm
Dynamický rozsah: 1300:1
Poměr signál/šum: 250:1
Rozlišení: 0,02 ~ 8,4nm FWHM
Nelinearita: 1%

HR2000+

varianta spektrometru HR4000 s odlišným detektorem, 2MHz A/D převodníkem a programovatelným mikrokontrolerem pro aplikace s nutností velmi rychlého snímání spektra. Verze HR2000+ poskytuje umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení proti USB2000+.

Jaz

unikátní modulární systém tvořený moduly které je možné skládat dle potřeb Vaší aplikace. Dostupné moduly:

  • spektrometr
  • display s klávesnicí
  • ethernetové připojení a slot na paměťové SD karty
  • baterie a slot na paměťové SD karty
  • světelný zdroj UV-VIS
  • světelný zdroj VIS-NIR
  • světelný zdroj-Led

Tyto moduly umožňují vytvořit stand alone systém bez nutnosti připojení PC nebo externího zdroje. Elektronika umožňuje také spojit několik spektrometrů a vytvořit tak vícekanálový systém s velmi vysokým rozlišením.

Systém je díky své mobilitě vhodný např. pro biologické a chemické aplikace neboť umožňuje jednoduchým způsobem provádět měření přím v terénu (např. sledování znečištění vody/prostředí) nebo díky možnosti vzdáleného přístupu přes ethernetové připojení pro sledování procesů v průmyslu, kdy např. rozmístění několika modulů podél výrobní linky umožní přesně kontrolovat výrobní postupy.

Parametry samotného spektrometru:

Spektrální rozsah: max. 650 nm
Rozsah detektoru: 200 – 1100 nm
Dynamický rozsah: 1300:1
Poměr signál/šum: 250:1
Rozlišení: 0,3 ~ 10nm FWHM
Nelinearita: 1%

QE65000

spektrometr pro aplikace s nízkou úrovní signálu. Spektrometr je osazen TE chlazeným detektorem, který poskytuje vysokou citlivost v UV oblasti (od 200nm) a vysokou kvantovou účinnost (až 92%). QE65000 je vhodný pro aplikace jako je např. fluorescence, Ramanovská spektrometrie a další.

Spektrální rozsah: max. 825 nm
Rozsah detektoru: 200 – 1100 nm
Dynamický rozsah: 25000:1
Poměr signál/šum: 1000:1
Rozlišení: 0,14 ~ 7,7nm FWHM
Nelinearita: 1%
Detektor: back-thinned 2D, CCD s aktivním chlazením
Kvantová účinnost: až 92%
Kvantová účinnost na 300 nm: 40%

Maya

spektrometr s vysokou kvantovou činností, dynamickým rozsahem a vysokou citlivostí v UV. Tyto parametry z něj činí ideální nástroj pro měření v aplikacích s nízkou úrovní signálu a pro měření v UV oblasti. Obzvláště v UV oblasti rozšiřuje možnosti proti QE65000, neboť umožňuje měřit již od 165 nm.

Spektrální rozsah: max. 900 nm
Rozsah detektoru: 165 – 1100 nm
Dynamický rozsah: 10000:1
Poměr signál/šum: 450:1
Rozlišení: back-thinned 2D CCD
Nelinearita: 1%
Detektor: back-thinned 2D, CCD s aktivním chlazením
Kvantová účinnost: až 92%
Kvantová účinnost na 300 nm: 40%

NIRQUEST

spektrometr pro měření v IR oblasti

Spektrální rozsah: max. 1600 nm
Rozsah detektoru: 900 – 2500 nm
Dynamický rozsah: 5000:1
Detektor: lineární InGaAs detektor s aktivním chlazením

Spektrometrické systémy

R-3000

systém pro Ramanovskou spektrometrii

  • integrovaný systém zahrnující excitační laser, spektrometr, optickou sondu a software
  • Rozsah od 200 – 2700 cm-1 , rozlišení lepší než 10 cm-1

NeoFox

systém pro měření koncentrace kyslíku

  • jednoduchý a kompaktní systém vhodný pro běžnou kontrolu přítomnosti kyslíku
  • možnost volby kyslíkových senzorů dle aplikace – viz

NanoCalc

systém pro měření tloušťky tenkých vrstev na základě reflexe/transmise.

  • možnost měření tloušťky vrstev v rozsahu 10 nm až 250 m dle konfigurace systému
  • rozlišení až 0,1 nm
  • vhodné pro in situ a online měření
  • vhodné pro měření např. tloušťky oxidových vrstev, fotorezistů a další polovodičové vrstvy. Dle možnost měření anti reflexní vrstvy a vrstvy na substrátech jako je ocel, hliník, mosaz, měď, keramika a plasty

SpecEl

elipsometrický systém.

  • rozsah vlnových délek 380 – 780 nm (standardně) nebo 450 – 900 nm (volitelně)
  • optické rozlišení 4 nm FWHM
  • Možnost měřit současně až 32 vrstev
  • Tloušťka vrstvy 1 – 5000 nm pro jednu transparentní vrstvu

PlasCalc

systém pro monitorování a kontrolu plazmatu

  • možnost sledování emisí plazmatu v rozsahu 200 – 1100nm
  • výstup pro kontrolu procesů (možnost nastavení limitů)
  • vhodné pro aplikace jako je měření depozice tenkých vrstev, plasmatické leptání (plasma etching) a další