Elipsometry
Elipsometrie se používá pro měření vlastností tenkých vrstev a povrchů, pracuje s polarizovaným světlem, které se na zkoumaném povrchu odráží, čímž dochází ke změně jeho polarizace. Při elipsometrii se obecně měří hodnoty týkající se polarizovaného světla, tj. psi a delta a z naměřených dat se pak fitací na určitý model teprve získají materiálové charakteristiky jako tloušťka, index lomu, optická konstanta, ale i další údaje jako depolarizace, anisotropie, krystaličnost, rovnoměrnost či charakteristika přechodových rozhraní.
Z hlediska nabízených přístrojů existují kompaktní elipsometry s fixním úhlem měření a s omezeným spektrálním rozsahem měření, které neumožňují plnohodnotný výzkum nových materiálů, ale pro běžné aplikace či pro měření standardních materiálů bohatě dostačují.
Nebo se pak nabízejí univerzální, modulární systémy, které mohou měnit úhel měření, lze s nimi skenovat v širokém spektrálním rozsahu (od UV až do NIR či IR), mají celou škálu přídavných možností a hodí se hlavně pro oblast výzkumu nových materiálů nebo pro studium vlastností při nestandardních podmínkách (vakuum, nízké či vysoké teploty atd.). Systémy využívají buď laditelný monochromatický zdroj světla (světelný zdroj v kombinaci s monochromátorem) a na výstupu pak jednoduchý Si případně InGaAs detektor pro pokrytí oblasti od UV do NIR oblasti, nebo je na vstupu klasický širokopásmový světelný zdroj (výbojová lampa či halogenová žárovka) a na výstupu pak CCD či InGaAs lineární detektor, kam se zaznamená celé spektrum v jednom okamžiku. Tento princip je vhodný i pro insitu měření, tj. on-line měření v průběhu procesu.
Při výběru elipsometru je nutné vycházet z požadovaného spektrálního rozsahu (závisí na měřených materiálech a aplikacích), potřeby měnit úhly, z požadavku na rychlost, přesnost, také jestli půjde o ex-situ aplikace či in-situ, případně kombinaci obou. Podle toho lze pak vybírat vhodný typ. Kromě výše uvedených skutečností je nutné brát v úvahu také fakt, jestli je systém jednoúčelový nebo modulární, jaké je nabízeno příslušenství, jaká technologie je u daného přístroje použita, na co vše lze systém využít atd. Rádi s výběrem vhodného typu pomůžeme, také můžeme nechat proměřit vzorky v aplikační laboratoři našeho dodavatele.
