V nabídce máme mechanické profiloměry, optické bezdotykové interferenční profiloměry a mikroskopy atomárních sil. Obecně tyto přístroje slouží pro měření struktury povrchu, výšky vrstev, jejich drsnosti v mikro či makroskopickém měřítku.

Používají se především v polovodičovém průmyslu, pro měření optoelektronických a MEMS prvků, pro měření výšky vrstev, drsností na průmyslově opracovaných površích, v tribologii, ve vědě a výzkumu, v lékařství, ale také pro měření nanostruktur a nanovrstev.

Tyto systémy nabízíme od řady našich dodavatelů, níže je uveden stručný popis jednotlivých možností s případnými odkazy na konkrétní produkty.

Mechanické profiloměry

Skenují povrch mechanickým hrotem, výchylky se detekují citlivým systémem a tak měří topografii povrchu. Přesnost bývá v řádu angstrémů, skenují buď ve 2D či ve 3D, díky postupnému skenování bývá doba měření delší. Tyto systémy umí skenovat velké plochy v řádu desítek či stovek mm, pro skenování výšky vrstvy je to ideální řešení. Cenově patří mezi levnější řešení, nevýhodou může být princip kontaktního měření, kdy hrot může poškrábat citlivé nebo měkké povrchy. Pomocí těchto systémů lze měřit i napětí ve vrstvě, případně k tomu pak slouží speciální systém.

Tyto profiloměry máme v nabídce od firmy KLA-Tencor, jedná se o zařízení AlphaStep IQ, P6 či P16.

Liší se rozsahem skenu, dosahovanými parametry, možností skenovat ve 2D či i 3D, různými nástavbovými moduly, možností motorizovaného stolku pro vzorek a tudíž děláním sekvenčního měření, komfortností při vlastním měření apod. Více informací k těmto systémům naleznete zde.

Optické profiloměry

Nabízíme 3D optické interferenční profiloměry, jde o bezdotykové měření na základě interference bílého světla ve vrstvě. Umí měřit menší plochy, podle zvětšení lze jít na plochy v řádu několika mm až po mikronovou oblast. S tím souvisí i dosahované laterální rozlišení. Přesnost je od 1A. Výhodou je získání plošné 3D informace v jednom okamžiku, tedy v krátkém čase. Také se jedná o bezdotykové měření a nehrozí zde poškození povrchu.

Tyto profiloměry nabízíme od firmy ZYGO, aktuálně mají řadu NewView - NV600, NV7000 a NV Delta. Liší se dosahovanými parametry, nabízeným příslušenství, možnou konfigurací, případně i oblastí použití. Více informací lze dohledat také zde.

AFM – mikroskopy atomárních sil

Skenují technikou SPM, kdy hrot může být v kontaktu s povrchem (kontaktní mód) nebo kmitat v jeho blízkosti (semikontaktní či bezkontaktní mód). Jsou vhodné pro skenování podstatně menších ploch (v řádu jednotek či stovky mikronů), kde se lze však dostat až na atomární rozlišení. Umožňují řadu různých módů a technik, takže jde o studium nejen struktury povrchu v nanoměřítku, ale i jeho vlastností. AFM nabízíme prostřednictvím firmy LOT-Oriel od výrobce PacificNanotechnology, který nabízí systémy NanoR2, NanoIm, NanoE a NanoDST určené především pro pevnolátkové vzorky, v menší míře je lze využít i pro měření v kapalinách, nebo od firmy JPK, který dělá systémy čistě pro biologické aplikace – NanoWizardII, TAO a BioMAT.

Obecně existují systémy pro běžná měření na vzduchu a pak high tech systémy s možností kompenzace okolního prostředí či měření za různých teplotních, tlakových či atmosférických podmínek. Více informací k námi nabízeným systémům naleznete zde.