V nabídce máme mechanické profiloměry, optické bezdotykové interferenční profiloměry a mikroskopy atomárních sil. Obecně tyto přístroje slouží pro měření struktury povrchu, výšky vrstev, jejich drsnosti v mikro či makroskopickém měřítku.

Používají se především v polovodičovém průmyslu, pro měření optoelektronických a MEMS prvků, pro měření výšky vrstev, drsností na průmyslově opracovaných površích, v tribologii, ve vědě a výzkumu, v lékařství, ale také pro měření nanostruktur a nanovrstev.

Tyto systémy nabízíme od řady našich dodavatelů, níže je uveden stručný popis jednotlivých možností s případnými odkazy na konkrétní produkty.

Mechanické profiloměry

Skenují povrch mechanickým hrotem, výchylky se detekují citlivým systémem a tak měří topografii povrchu. Přesnost bývá v řádu angstrémů, skenují buď ve 2D či ve 3D, díky postupnému skenování bývá doba měření delší. Tyto systémy umí skenovat velké plochy v řádu desítek či stovek mm, pro skenování výšky vrstvy je to ideální řešení. Cenově patří mezi levnější řešení, nevýhodou může být princip kontaktního měření, kdy hrot může poškrábat citlivé nebo měkké povrchy. Pomocí těchto systémů lze měřit i napětí ve vrstvě, případně k tomu pak slouží speciální systém.

Tyto profiloměry máme v nabídce od firmy KLA-Tencor, jedná se o zařízení AlphaStep IQ, P6 či P16.

Liší se rozsahem skenu, dosahovanými parametry, možností skenovat ve 2D či i 3D, různými nástavbovými moduly, možností motorizovaného stolku pro vzorek a tudíž děláním sekvenčního měření, komfortností při vlastním měření apod.

Podrobnější informace na stránkách dodavatele.

Optické profiloměry

Nabízíme 3D optické interferenční profiloměry, jde o bezdotykové měření na základě interference bílého světla ve vrstvě. Umí měřit menší plochy, podle zvětšení lze jít na plochy v řádu několika mm až po mikronovou oblast. S tím souvisí i dosahované laterální rozlišení. Přesnost je od 1A. Výhodou je získání plošné 3D informace v jednom okamžiku, tedy v krátkém čase. Také se jedná o bezdotykové měření a nehrozí zde poškození povrchu.

Tyto profiloměry nabízíme od firmy ZYGO, aktuálně mají řadu NewView - NV600, NV7000 a NV Delta. Liší se dosahovanými parametry, nabízeným příslušenství, možnou konfigurací, případně i oblastí použití.

Podrobnější informace na stránkách dodavatele.