V nabídce máme optické interferometry od světového výrobce, firmy ZYGO. Interferometry slouží pro měření kvality optických ploch, případně i pro hodnocení povrchů opracovaných na optickou kvalitu.

Použití je především v oblasti výroby optiky a optických komponentů, nicméně tyto přístroje nachází také uplatnění v obecné metrologii v polovodičovém průmyslu, lékařství, ve vědě a výzkumu.

Firma Zygo nabízí Fizeu interferometry, jejichž výhodou je vlastní princip interferometru, kdy Fizeu plocha generuje fázově posunutou referenční vlnoplochu a zároveň je součástí optické cesty. Daný princip společně s robustní optomechanickou konstrukcí pak představuje velmi přesné měření s vysokou opakovatelností a eliminuje potřeby vysokého rozlišení kamery.

Interferometry jsou přesně zkalibrované a nepotřebují každodenní kalibraci. Pokud se při měření uplatňují vibrace, lze využít patentovaný algoritmus FlashPhase, který výrazně eliminuje vlivy vibrací a šumů z okolního prostředí.

Nabízené řady interferometrů

K dispozici jsou různé konfigurace (vertikální, horizontální) a celá škála příslušenství pro různé aplikace.

DynaFiz™ série - Novinka

Nový Fizeaův interferometr pro okamžité měření v reálném čase, který je optimalizovaný pro dynamickou metrologii v přítomnosti extrémních vibrací a vzdušných turbulencí.

Klíčové vlastnosti

• Dynamická akvizice při extrémních vibracích a turbulencích vzduchu
• LivePhase™ umožňuje Zernikeovu analýzu v reálném čase
• Režim videa dovoluje zaznamenat změnu vlnoplochy v průběhu času
• Vysoce výkonný, frekvenčně stabilizovaný HeNe laser
• Optimalizovaný optický systém poskytuje jasné zobrazení středo- prostorové frekvenční charakteristiky

Více informací na stránkách firmy Zygo

VeriFire™ série

Ideální interferometry pro velmi přesnou metrologii povrchu, vědu a výzkum a také testování ploch. Řada interefometrů VeriFire™ umožňuje měřit sférické, asférické a rovinné plochy s aperturou 102 či 152 mm. Lze měřit také kvalitu vrstev nanesených na optice (až 4 povrchy za sebou) díky unikátnímu algoritmu FTPSI (Fourier Transform Phase Shifting Interferometry).

VeriFire™ řada nabízí různé varianty interferometrů. S každým modelem lze provádět standardní interferometrická měření, nicméně každý model nabízí unikátní funkce a možnosti, které jej od ostatních modelů odlišují a určují jeho použití pro dané konkrétní aplikace. Navíc pro měření v turbulentních prostředích slouží nový DynaFiz™ interferometr výše.

Model:	XPZ	QPZ	ATZ	MST	Asphere
Klíčová technologie	Phase-Shifting Interferometry (PSI)			Fourier Transform Phase Shifting Interferometry	PSI s algoritmem pro asféry
Zdroj	Bodový zdroj		Bodový zdroj a Ring of Fire (potlačení artefaktů)
Zoom	Motorizovaný 1-6X		Enkódovaný 1-5X
Ohnisko	Motorizované		Enkódované (krokový fokus)
Rozlišení kamery	640 x 480 pixelů		1000 x 1000 pixelů
Snímkování kamery	75 Hz	210 Hz	43 Hz
Datasheet:	XPZ	QPZ	ATZ	MST 633 MST 1550	Asphere

Více informací na stránkách firmy Zygo

GPI™ série

Řada interferometrů s možnou aperturou 102 či 152 mm. Je to ideální řešení pro oblast výroby větších optických prvků a komponentů, kde postačuje možnost visuálního hodnocení interferenčních proužků.

GPI™ řada nabízí dva modely:

• GPI™ LC - vizuální inspekce proužků, kamera 512x492 pixelů.
• GPI™ ST - vizuální inspekce proužků, motorizovaný zoom (1-6x) a fokus, kamera 768x494 pixelů.

Datasheet GPI™ LC&ST (88 KB)

Více informací na stránkách firmy Zygo

LAS série
(Large Aperture System)

Řada interferometrů s velkou aperturou, kdy je možné nabídnout sestavu pro měření optiky o průměru 12“, 18“, 24“ a 32“.

LAS systém se skládá (viz obrázek):

• Interferometr (VeriFire™ XPZ, QPZ, ATZ, MST nebo platforma pro posun vlnové délky)
• MUX kostka (přepínatelné zrcadlo)
• Rozšiřovač svazku - Beam Expander (Dostupný v průměru 12", 18", 24" nebo 32")
• Systém pro měření fáze (pro 12" a 18" systémy; 24" a 32" systémy používají platformu pro posun vlnové délky a nevyžadují PMR)
• Referenční optika - transmisní a reflexní roviny dle potřeby v závislosti na optické konfiguraci
• Držáky - dostupné pro referenční a testovanou optiku

Více informací na stránkách firmy Zygo

Příslušenství

K dispozici je dále široká škála příslušenství a opcí

• kalibrační sféry a roviny (trasmisní a reflexní)
• konvertory průmeru
• držáky, stojany, stolky (X-Y, manuální, motorizované)
• rájy, kolejnice, měřítka
• FlasPhase systém pro eliminaci vlivu vibrací
• možnost volby vlnové délky

Více informací o přílušenství na stránkách firmy Zygo.

K dispozici je celá škála odladěných aplikací v nabízeném softwaru MetroPro pro konkrétní měření a úlohy. Kompletní přehled měřicích technik je uveden v průvodci Typical Interferometer Setups.

Správný výběr a testy

Rádi Vám pomůžeme s výběrem vhodného typu interferometru, také můžeme nechat proměřit vzorky v aplikační laboratoři našeho dodavatele, proto nás neváhejte kontaktovat.

Více informací k nabízeným systémům lze také získat na webu firmy Zygo.