Interferometrické systémy od firmy SIOS pro přesné odměřování vdálenosti, úhlu, vibrací a odvozených veličin jako je hmotnost, síla, tlak a rychlost . Tyto systémy jsou založeny na malých laserových interferometrech, které, díky využítí stabilizovaných HeNe laserů a kompenzacím na okolní prostředí, dosahují vysoké přesnosti až 0,1 nm.

Miniaturní interferometry s planárním zrcátkem

Základní systém pro měření délky podle jedné osy.

Podrobné technické specifikace: SP_E_FOT.PDF.

Miniaturní interferometry s koutovým odražečem

Alternativa k předchozímu systému, který místo planárního zrcátka využívá koutového održeče. Jeho výhodou je jednodušší nastavení/integrace celého systému. Nevýhodou je, že není vhodný pro měření prvů pohybujících se ve více osách.

Podrobné technické specifikace: MI_E_FOT.PDF.

Dvoupaprskové interferomery

Systém kombinující dva interferometry do jedné jednotky (senzorové hlavy) umožňující provádět simultální měření dvou os nebo rotaci podle jedné osy.

Podrobné technické specifikace: SP_D_E.PDF.

Třípaprskové interferometry

Systém kombinující tři interferometry do jedné jednotky umožňuje simultálně měřit tři osy nebo rotaci podle dvou os.

Podrobné technické specifikace: SP-TR Series.pdf.

Interferometrický systém pro měření vibrací

Systém pro přesné, bezkontaktní určení změn v poloze objektů nebo povrchů a detekci mechanických vibrací v rozsahu 0 až 500 kHz. Systém je vhodný pro:

• bezkontaktní měření vubrací pro libovolné povrchy
• určování vibračních módů
• určování rezonančních frekvencí mikroskopických objektů

Podrobné technické specifikace: SP-S_E.PDF.

Interferometrické měřící sondy/hloubkoměry

Interfermetrický systém pro kontaktní měření délky v rozsahu až 0 – 50 mm s přesností v řádech nanometrů. Systém je vhodný pro:

• přesné měření/kontrolu rozměrů
• kalibraci standardních hloubkoměrů
• měření tloušťky
• měření hloubky děr atd.
• kontaktní měření profilů povrchů
• měření deformací

Podrobné technické specifikace: LM_E_FOT.PDF.

Více informací na stránkách dodavatele.