Triple Beam Plane Mirror Interferometer

Odborný poradce sekce

Interferometr kombinuje tři interferometry v kompaktní jednotce a umožňuje současné měření vzdáleností ve třech osách s nanometrovou přesností. Z naměřených dat lze dále velice přesně určit příslušné úhly natočení měřeného vzorku. Senzor k měření využívá stabilizovaný He-Ne laser, jehož jednotlivé svazky jsou do měřící hlavy přivedeny vláknovou optikou. Celý systém je navržen tak, aby jej bylo možné snadno začlenit do různých experimentálních i průmyslových aplikací.

Aplikace

Aplikace

  • Interferometrické měření vzdáleností pro polohovací základny a mikroskopy
  • Vysoce přesná korekce naklánění a otáčení při současném měření vzdálenosti na dvou i více osách
  • Kalibrace měřících přístrojů
  • Materiálové testování (dilatometrie)
  • Úhlové měření v rozsahu > ±2 arcmin

Výrobce

Výrobce stabilizovaných HeNe laserů, interferometrů vysoce přesné pro odměřování vzdáleností a dalších odvozených veličin Více o Sios


Technické parametry

Model SP 2000-TR

Model SP 120-TR

Měřící rozsah v každé ose [mm]

2000

120

Rozlišení polohy [nm]

1/0,1

1/0,1

Úhlové rozlišení při rozlišení polohy 1 nm [arcmin]

0,02

0,02

Vlnová délka použitého laseru [nm]

632,8

632,8

Provozní teplota [°C]

15 -30

Standardní interface

RS 232 C, USB




Máte otázku? Kontaktujte nás

  • * povinné položky