• Počítačem řízený spin coater s vakuovým systémem
  • LAO INFO

Počítačem řízený spin coater s vakuovým systémem

06. 09. 2013 | Ing. Pavel Kořán |

Robustní spin coater s plně automatickým systémem FR10KPA je vhodný pro nanášení tenkých vrstev prakticky jakéhokoliv materiálu. Speciálně je pak spin coater vhodný k nanášení různých vrstev fotorezistů, polyimidů, sol – gelů a laků. Nanášení je možné přesně a především opakovatelně kontrolovat, a to při vytváření vrstev prakticky na všech typech substrátů včetně měděných, křemíkových, sklěněných a plastikových podložek.

Vzorková komora FR10KPA je vyrobena z nerezu a má průměr 26 cm. Dále obsahuje vestavěný vakuový systém pro uchycení vzorků při vyšších otáčkách spin coateru. Software spin coateru umožňuje programovat a řídit funkce nanášení vrstev včetně rampování otáček. Bezpečný provoz zařízení je pak zajištěn sérii interlock zámků a tlačítka pro okamžité vypnutí systému.

Více informací o spin coateru FR10KPA.


Kategorie

Archiv newsletterů LAO Info RSS

LAO newsletter

AKTUÁLNÍ NEWSLETTER

LAO Science Info - 2/2015

Zobrazit