- Počítačem řízený spin coater s vakuovým systémem
- LAO INFO
Počítačem řízený spin coater s vakuovým systémem
06. 09. 2013 | Ing. Pavel Kořán |
Robustní spin coater s plně automatickým systémem FR10KPA je vhodný pro nanášení tenkých vrstev prakticky jakéhokoliv materiálu. Speciálně je pak spin coater vhodný k nanášení různých vrstev fotorezistů, polyimidů, sol – gelů a laků. Nanášení je možné přesně a především opakovatelně kontrolovat, a to při vytváření vrstev prakticky na všech typech substrátů včetně měděných, křemíkových, sklěněných a plastikových podložek.
Vzorková komora FR10KPA je vyrobena z nerezu a má průměr 26 cm. Dále obsahuje vestavěný vakuový systém pro uchycení vzorků při vyšších otáčkách spin coateru. Software spin coateru umožňuje programovat a řídit funkce nanášení vrstev včetně rampování otáček. Bezpečný provoz zařízení je pak zajištěn sérii interlock zámků a tlačítka pro okamžité vypnutí systému.
Více informací o spin coateru FR10KPA.
Kategorie
Archiv newsletterů LAO Info RSSLAO newsletter
AKTUÁLNÍ NEWSLETTER
LAO Science Info - 2/2015