Nová série Fizeauových interferometrů od firmy Zygo

V rámci své komplexní nabídky firma Zygo podstatně vylepšila nabízené modely laserových Fizeauových interferometrů. V současnosti tak Zygo poskytuje v oblasti komerční laserové interferometrie jednoznačně nejucelenější nabídku systémů a příslušenství.

Přehled nabízených systémů

GPI™ řada - naprostý základ

Jako startovní systém s nízkými pořizovacími náklady pro pouhou vizuální analýzu interferenčních proužků v metrologii rovných povrchů je k dispozici systém Zygo GPI LC/ST bez možnosti fázového posunu. U modelu GPI LC není k dispozici zoom ani změna fokusu. Model GPI ST poskytuje motorizovaný zoom (6x) a fokus, navíc pokud v budoucnu dojde ke zvýšení požadavků na výkon měření může být proveden jeho upgrade na mechanický fázový posun.

VeriFire™ řada

Novější série Verifire™ Fizeauových interferometrů představuje kompletní řadu metrologických systémů s vysokým výkonem pro měření planárních, sférických a asférických povrchů a pro charakterizaci materiálů. Tyto systémy využívají různé sobě vlastní akviziční techniky pro zajištění optimálního měření v nejrůznějších prostředí. Se všemi Verifire™ modely lze provádět standardní interferometrická měření, nicméně každý model nabízí unikátní funkce a možnosti, které jej od ostatních modelů odlišují a určují jeho použití pro dané konkrétní aplikace. Pro měření v turbulentních prostředích firma Zygo nabízí nový DynaFiz™ interferometr.

Vylepšení a inovace

Mezi společné vylepšení v rámci celé řady Verifire™ patří nový vysoce stabilizovaný laser, operační systém Windows 7 a nový software MetroPro™ X pro řízení interferometru a analýzu získaných dat. Nový algoritmus rychlého posunu fáze umožňuje on-axis metrologii s nízkou mírou nejistoty i v náročném výrobním prostředí.

Vylepšená výkonnost systému kolejnic zahrnuje pro motorizované verze funkci Auto-Null (automatická synchronizace), zvýšenou rychlost a interferometrická měření změny pozice (displacement metrology). Všechny verze jsou nabízeny s 4“ (100mm) nebo 6“ (150mm) aperturou a jsou kompatibilní se širokou škálou dostupného příslušenství.

Základní použítí, vlastnosti a výhody jednotlivých modelů

DynaFiz™ - novinka

Nový Fizeaův interferometr pro okamžité měření v reálném čase, který je optimalizovaný pro dynamickou metrologii v přítomnosti extrémních vibrací a vzdušných turbulencí.

Speciální design optického systému v kombinaci s vysoce výkonným stabilizovaným HeNe laserem umožňuje provoz interferometru s velmi krátkou dobou expozice CCD kamery, která tak může vibrace zmrazit v čase. Vysoké rozlišení kamery 1200x1200 pixelů dovoluje pokročilou charakterizaci povrchu. Tato dynamická schopnost poskytuje spolehlivé měření i v prostředích, která jsou příliš náročná pro tradiční phase-shifting techniky.

S výhodou lze této unikátní vlastnosti DynaFiz™ interferometru využít také při testování optických systémů. Funkce LivePhase™ dovoluje akvizici dat a zpětnou vazbu v podobě Zernikeových koeficientů v reálném čase, která umožňuje on-line monitorování při seřizování optického systému. Jednotlivé získané snímky lze uložit v podobě video klipu a lze tak snadno sledovat zpětně historii toho jak se optický prvek nebo systém měnil v čase.

Verifire™ XPZ

Standardní systém pro optické měření profilu povrchu a detekci vad vlnoplochy. Model XPZ poskytuje vynikající přesnost a opakovatelnost s použitím mechanické modulace fáze, 640x640 pixel kamerou a výkonného softwaru MetroPro® pro akvizici a analýzu dat.

Verifire™ QPZ

Model QPZ nabízí minimální citlivost vůči vibracím díky vysokorychlostní kameře a novému patentovanému QPSI softwarovému algoritmu. Vysokorychlostní kamera zajišťující rychlou akvizici dat umožňuje přesné měření fáze i v přítomnosti vibrací. Systém QPZ je proto naprosto ideální pro měření v drsných výrobních prostředí a náročných podmínkách.

Verifire™ ATZ

Model ATZ je interferometr s nejvyšším možným výkonem s mechanickou akvizicí fáze pro měření optiky ultra vysoké kvality. Model ATZ standardně obsahuje 1000x1000 pixel CCD kameru, motorizovaný zoom a fokus s enkodérem a speciálně vyvinutý osvětlovací systém Ring of Fire™ pro potlačení artefaktů a redukci šumu

Verifire™ Asphere

Model Asphere je interferometrická pracovní stanice pro rychlé 3D bezkontaktní měření asférických povrchů. Model Asphere nabízí automatické seřízení, akvizici a analýzu. Díky tomu se tento model řadí mezi systémy s nejvyšší produktivitou pro měření planárních, sférických a asférických dílů.

Verifire™ MST

Interferometr MST využívá laser s možností posunu vlnové délky a patentovanou metodu akvizice dat za účelem současného měření předního a zadního povrchu transparentních optických prvků, variace tloušťky a homogenity. Unikátní vlastností je tedy analýza rovnosti předního a zadního povrchu v rámci jediného měření, tj. bez nutnosti složité přípravy vzorku nebo použití povlaků. Verifire™ MST tak významně také zjednodušuje měření homogenity optických povrchů.

Volitelná výbava